Способ контролируемого роста квантовых точек (КТ) из коллоидного золота в системе совмещенного АСМ/СТМ (атомно-силовой микроскоп/сканирующий туннельный микроскоп), заключающийся в выращивании КТ при отрицательном приложенном напряжении между иглой кантилевера совмещенного АСМ/СТМ и проводящей подложкой, отличающийся тем, что дополнительно предлагается в процессе роста КТ периодически переключать полярность внешнего напряжения с отрицательной на положительную и фиксировать единичный пик на туннельной ВАХ при определенном значении приложенного напряжения из диапазона значений от 1 до 5 В, и рост КТ завершается, когда единичный пик наблюдается при том же значении приложенного напряжения, что и для контрольной КТ заданного размера.