Патент
Действует
Изобретение № 2805459

Нагревательное устройство для термомиграции жидких зон в пластине кремния

Правообладатель: Акционерное общество "ВЗПП-Микрон" (RU) Авторы: Середин Борис Михайлович (RU), Попов Виктор Павлович (RU), Малибашев Александр Владимирович (RU), Заиченко Александр Николаевич (RU), Гаврус Игорь Викторович (RU), Скиданов Алексей Александрович (RU)
Формула изобретения

Нагревательное устройство для термомиграции жидких зон в пластине кремния под действием градиента температуры, содержащее корпус, пластины кремния, расположенные вертикально в отверстиях кассет параллельно плоскому резистивному нагревательному элементу, отличающееся тем, что торцевые поверхности корпуса выполнены в виде жёсткой рамки, включающей торцевые экраны, внутри корпуса в средней его части размещён плоский резистивный нагревательный элемент, с симметрично расположенными с обеих его сторон пластинами кремния, на корпусе размещены фронтальные экраны с отверстиями, соосными пластинам кремния и диаметром на 10-40 мм превышающими диаметр пластин кремния.

показать больше
Спасибо! Мы перезвоним вам в ближайшее время!